Кресло Сергей Михайлович
Способ диффузии акцепторных примесей в кремниевые пластины для изготовления силовых полупроводниковых приборов
Номер патента: 10881
Опубликовано: 30.08.2008
Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Кресло Сергей Михайлович, Матюшевский Анатолий Петрович, Шильцев Владимир Викторович, Соловьев Ярослав Александрович, Ануфриев Дмитрий Леонидович
МПК: H01L 21/02
Метки: способ, полупроводниковых, приборов, кремниевые, силовых, пластины, примесей, изготовления, акцепторных, диффузии
Текст:
...глубина диффузии примеси при постоянной температуре пропорциональна корню квадратному от времени процесса. Удаление слоя легированных пленок вне областей последующей диффузии двухсторонней фотолитографией производится для исключения паразитной диффузии акцепторных примесей в тех областях кремниевой пластины,где этого не требуется. Создание микронеровностей поверхности со средней шероховатостью 0,3-1,0 мкм и глубиной нарушенного слоя 2,0-8,0...