H01L 21/328 — многоступенчатые процессы для изготовления биполярных приборов, например диодов, транзисторов, тиристоров
Способ изготовления диода Шоттки
Номер патента: 8449
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Ануфриев Леонид Петрович, Карпов Иван Николаевич, Пеньков Анатолий Петрович, Соловьев Ярослав Александрович, Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 29/47, H01L 21/329, H01L 21/328...
Метки: изготовления, диода, способ, шоттки
Текст:
...адгезионным и служит для улучшения адгезии между никелем и алюминием или сплавом алюминий-кремний, во-вторых,4 8449 1 2006.08.30 структура - стойка к электромиграции и шипообразованию из-за образования интерметаллического соединения 3. Толщина слоя титана 0,07-0,15 мкм выбирается как из приведенных выше соображений, так и из условия минимизации механических напряжений в многослойной структуре /////. Сущность изобретения поясняется фиг....