Белый Илья Михайлович

Номер патента: 2324

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Белый Илья Михайлович, Ташлыков Игорь Серафимович

МПК: C23C 4/12, C23C 14/46, C23C 4/18...

Метки: способ, нанесения, покрытий

Текст:

...фракция требуемого материала испаряется в разных направлениях, напыляясь в том числе на изделие 4. Под действием разности потенциалов между отрицательным высоковольтным электродом 5, на котором размещено изделие 4, и источником ионов 1 генерируемые ионы вытягиваются из разрядного промежутка и в соответствии с направлением напряженности электростатического поля Е(4) устремляются к изделию, внедряясь в поверхность изделия одновременно с...