Алиева Наталья Васильевна
Полевой транзистор с плавающим затвором
Номер патента: U 9208
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Сенько Сергей Федорович, Алиева Наталья Васильевна, Шикуло Владимир Евгеньевич, Трусов Виктор Леонидович, Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич
МПК: H01L 29/788
Метки: транзистор, затвором, плавающим, полевой
Текст:
...вовсе не присущи 6. Несмотря на небольшое различие в значении коэффициентов линейного термического расширения (клтр) 34 и кремния (3,410-6 -1 для 34 5 и 3,7210-6 -1 для 6), использование высоких температур при изготовлении ИС и отсутствие полиморфных превращений 34 приводят к возникновению высоких механических напряжений на границах раздела слоев. В связи с этим заявляемое техническое решение предусматривает использование тонких...
Конденсатор для интегральных микросхем
Номер патента: U 9178
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Хмыль Александр Александрович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Алиева Наталья Васильевна, Трусов Виктор Леонидович, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович
МПК: H01L 29/94
Метки: конденсатор, интегральных, микросхем
Текст:
...конденсатора и максимально возможную релаксацию механических напряжений. За счет этого резко снижается дефектность многослойного конденсаторного диэлектрика в целом и повышается воспроизводимость его характеристик. Мягкий пробой конденсаторного диэлектрика исчезает, емкость формируемого конденсатора стабилизируется. В итоге это позволяет уменьшить толщину диэлектрика и уменьшить площадь, занимаемую конденсатором, а также повысить выход...