Родин Георгий Федорович
Способ планаризации микрорельефа при изготовлении интегральных схем
Номер патента: 13309
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович, Родин Георгий Федорович
МПК: H01L 21/70, H01L 21/02
Метки: способ, изготовлении, интегральных, схем, микрорельефа, планаризации
Текст:
...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...
Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления
Номер патента: 3901
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Рябченко Игорь Леонидович, Емельянов Виктор Андреевич, Родин Георгий Федорович, Гранько Владимир Ильич, Иванов Леонид Федорович, Красовский Анатолий Михайлович, Гракович Петр Николаевич
МПК: B01D 46/24
Метки: осуществления, способ, газовой, отделения, смеси, масел, устройство
Текст:
...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...