Гранько Владимир Ильич
Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин
Номер патента: 5639
Опубликовано: 30.12.2003
Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич, Сугакова Татьяна Евгеньевна, Иванчиков Александр Эдуардович, Гранько Владимир Ильич, Медведева Анна Борисовна
МПК: H01L 21/306
Метки: очистки, пластин, поверхности, состав, полупроводниковых
Текст:
...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...
Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления
Номер патента: 3901
Опубликовано: 30.06.2001
Авторы: Рябченко Игорь Леонидович, Иванов Леонид Федорович, Красовский Анатолий Михайлович, Гранько Владимир Ильич, Емельянов Виктор Андреевич, Гракович Петр Николаевич, Родин Георгий Федорович
МПК: B01D 46/24
Метки: устройство, масел, отделения, способ, смеси, осуществления, газовой
Текст:
...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...