Патенты с меткой «планаризации»
Способ планаризации микрорельефа при изготовлении интегральных схем
Номер патента: 13309
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Родин Георгий Федорович, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/70, H01L 21/02
Метки: способ, интегральных, микрорельефа, планаризации, схем, изготовлении
Текст:
...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...
Способ планаризации кремниевых структур
Номер патента: 2923
Опубликовано: 30.09.1999
Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович, Захарик Сергей Владимирович, Аношин Валерий Михайлович
МПК: H01L 21/316
Метки: способ, планаризации, структур, кремниевых
Текст:
...в чистом реакторе, а срок службы реактора и оснастки повышается, что снижает издержки производствам и уровень привносимой дефектности. Издержки производства снижаются также и за счет совмещения двух операций в реакционной камере. При оплавлении БФСС при давлении ниже 20 Па увеличивается испарение из приповерхностного слоя стекла, что может способствовать ухудшению текучести стекла при оплавлении контактов (так называемое второе оплавление)....