Резчикова Инесса Игоревна
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15572
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Горюнов Алексей Владимирович, Лученок Андрей Алексеевич, Киршина Наталья Васильевна, Ильющенко Александр Федорович, Федулаева Людмила Витальевна, Лученок Алексей Романович, Резчикова Инесса Игоревна
МПК: B22F 3/08, C01B 33/06
Метки: изготовления, мишеней, способ, резистивных
Текст:
...Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет собой мозаичную конструкцию из одного или нескольких слитков дисилицида тугоплавкого металла цилиндрического или прямоугольного сечения, закрепленных на медном основании ультразвуковой пайкой. Слитки дисилицида тугоплавкого металла имеют высокую чистоту, обусловленную применением вакуумно-металлургических процессов очистки и эвтектическое содержание кремния,...
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15571
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Ильющенко Александр Федорович, Федулаева Людмила Витальевна, Лученок Алексей Романович, Резчикова Инесса Игоревна, Шац Леонид Соломонович, Лученок Андрей Алексеевич, Киршина Наталья Васильевна
МПК: B22F 3/16, B22F 3/08, C04B 35/58...
Метки: резистивных, изготовления, мишеней, способ
Текст:
...расплаве с использованием вакуумно-металлургических процессов. При этом используют измельченные монокристаллы компонентов, прошедших глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом, затем изготовление слитков дисилицидов тугоплавких металлов проводят с помощью плавки во взвешенном состоянии, производя затвердевание расплава в медных изложницах нужной формы. Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет...