Шац Леонид Соломонович
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15571
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Киршина Наталья Васильевна, Ильющенко Александр Федорович, Лученок Алексей Романович, Резчикова Инесса Игоревна, Лученок Андрей Алексеевич, Федулаева Людмила Витальевна, Шац Леонид Соломонович
МПК: C04B 35/58, B22F 3/08, B22F 3/16...
Метки: изготовления, мишеней, резистивных, способ
Текст:
...расплаве с использованием вакуумно-металлургических процессов. При этом используют измельченные монокристаллы компонентов, прошедших глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом, затем изготовление слитков дисилицидов тугоплавких металлов проводят с помощью плавки во взвешенном состоянии, производя затвердевание расплава в медных изложницах нужной формы. Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет...