C01B 33/06 — силициды металлов
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15572
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Киршина Наталья Васильевна, Лученок Андрей Алексеевич, Горюнов Алексей Владимирович, Резчикова Инесса Игоревна, Лученок Алексей Романович, Ильющенко Александр Федорович, Федулаева Людмила Витальевна
МПК: B22F 3/08, C01B 33/06
Метки: изготовления, резистивных, мишеней, способ
Текст:
...Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет собой мозаичную конструкцию из одного или нескольких слитков дисилицида тугоплавкого металла цилиндрического или прямоугольного сечения, закрепленных на медном основании ультразвуковой пайкой. Слитки дисилицида тугоплавкого металла имеют высокую чистоту, обусловленную применением вакуумно-металлургических процессов очистки и эвтектическое содержание кремния,...