Федулаева Людмила Витальевна
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15572
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Киршина Наталья Васильевна, Федулаева Людмила Витальевна, Лученок Алексей Романович, Горюнов Алексей Владимирович, Резчикова Инесса Игоревна, Лученок Андрей Алексеевич, Ильющенко Александр Федорович
МПК: B22F 3/08, C01B 33/06
Метки: способ, резистивных, мишеней, изготовления
Текст:
...Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет собой мозаичную конструкцию из одного или нескольких слитков дисилицида тугоплавкого металла цилиндрического или прямоугольного сечения, закрепленных на медном основании ультразвуковой пайкой. Слитки дисилицида тугоплавкого металла имеют высокую чистоту, обусловленную применением вакуумно-металлургических процессов очистки и эвтектическое содержание кремния,...
Способ изготовления резистивных мишеней
Номер патента: 15571
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Лученок Андрей Алексеевич, Ильющенко Александр Федорович, Резчикова Инесса Игоревна, Киршина Наталья Васильевна, Лученок Алексей Романович, Шац Леонид Соломонович, Федулаева Людмила Витальевна
МПК: B22F 3/16, C04B 35/58, B22F 3/08...
Метки: резистивных, способ, мишеней, изготовления
Текст:
...расплаве с использованием вакуумно-металлургических процессов. При этом используют измельченные монокристаллы компонентов, прошедших глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом, затем изготовление слитков дисилицидов тугоплавких металлов проводят с помощью плавки во взвешенном состоянии, производя затвердевание расплава в медных изложницах нужной формы. Распыляемая мишень для лазерного или электронного распыления представляет...