Мурин Леонид Иванович
Способ определения концентрации примесных атомов водорода в кремнии
Номер патента: 13506
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Коршунов Федор Павлович, Медведева Ирина Федоровна, Мурин Леонид Иванович
МПК: H01L 21/66, G01N 27/20
Метки: кремнии, определения, концентрации, способ, атомов, водорода, примесных
Текст:
...только в спектрах ИК поглощения 4), что делает данный центр непригодным для контроля содержания водорода в малых концентрациях. Комплекс является электрически активным центром с глубокими уровнями, однако вследствие возможного захвата второго атома водорода и трансформации данного центра в электрически неактивный комплекс 2 его концентрации могут сильно отличаться от концентрации водорода в образцах кремния. Для контроля содержания...
Способ определения концентрации железа в кремниевых p+-n-структурах методом емкостной спектроскопии глубоких уровней
Номер патента: 10299
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Мурин Леонид Иванович, Комаров Борис Анатольевич
МПК: H01L 21/66, G01L 27/00
Метки: определения, кремниевых, концентрации, емкостной, спектроскопии, железа, глубоких, уровней, способ, методом, p+-n-структурах
Текст:
...неразрушающего контроля к промышленным диффузионным переходам, в особенности к кремнию -типа. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения концентрации железа в кремниевых рструктурах методом емкостной спектроскопии глубоких уровней кремниевые рструктуры облучают при комнатной температуре высокоэнергетическими частицами с энергиями частиц больше граничной энергии для образования пар Френкеля в кремнии и такой дозой,...