Комаров Борис Анатольевич
Способ определения концентрации железа в кремниевых p+-n-структурах методом емкостной спектроскопии глубоких уровней
Номер патента: 10299
Опубликовано: 28.02.2008
Авторы: Мурин Леонид Иванович, Комаров Борис Анатольевич
МПК: H01L 21/66, G01L 27/00
Метки: концентрации, спектроскопии, кремниевых, емкостной, методом, железа, p+-n-структурах, уровней, определения, способ, глубоких
Текст:
...неразрушающего контроля к промышленным диффузионным переходам, в особенности к кремнию -типа. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения концентрации железа в кремниевых рструктурах методом емкостной спектроскопии глубоких уровней кремниевые рструктуры облучают при комнатной температуре высокоэнергетическими частицами с энергиями частиц больше граничной энергии для образования пар Френкеля в кремнии и такой дозой,...