G01N 27/20 — обнаружение локальных дефектов
Способ определения концентрации примесных атомов водорода в кремнии
Номер патента: 13506
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Медведева Ирина Федоровна, Коршунов Федор Павлович, Мурин Леонид Иванович
МПК: H01L 21/66, G01N 27/20
Метки: примесных, водорода, атомов, определения, способ, кремнии, концентрации
Текст:
...только в спектрах ИК поглощения 4), что делает данный центр непригодным для контроля содержания водорода в малых концентрациях. Комплекс является электрически активным центром с глубокими уровнями, однако вследствие возможного захвата второго атома водорода и трансформации данного центра в электрически неактивный комплекс 2 его концентрации могут сильно отличаться от концентрации водорода в образцах кремния. Для контроля содержания...