Ходарина Людмила Петровна
Импульсный генератор электроэрозионной плазмы для нанесения алмазоподобных покрытий
Номер патента: U 9472
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Ходарина Людмила Петровна, Зеленин Виктор Алексеевич
МПК: C23C 14/24, H05H 1/54
Метки: нанесения, генератор, импульсный, покрытий, электроэрозионной, алмазоподобных, плазмы
Текст:
...импульсный вакуумно-дуговой разряд, факел плазмы которого распространяется от рабочей конической поверхности катода в сторону оси генератора. При достижении плазмой анода происходит возбуждение основного импульсного вакуумно-дугового разряда между катодом и анодом генератора,которые связаны между собой электрической цепью, включающей последовательно соединенные соленоид и основную конденсаторную батарею, отрицательный полюс которой...
Способ контроля остаточных напряжений в кремниевой структуре покрытие SiO2–основа Si
Номер патента: 17232
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Ходарина Людмила Петровна, Зеленин Виктор Алексеевич
МПК: H01L 21/66, G01L 1/25
Метки: остаточных, напряжений, структуре, кремниевой, контроля, покрытие sio2–основа si, способ
Текст:
...тонкой оболочки. По условию минимума свободной энергии край отделенной полоски покрытия должен был бы принять форму волны с осью симметрии,лежащей в срединной плоскости покрытия. Однако поскольку прогиб полоски возможен только в одну сторону (вверх от основы), то свободный край полоски изгибается по некоторой, как правило несимметричной, волнообразной кривой, смещенной вверх от основы. Волнообразный изгиб свободного края покрытия...
Материал для тонкопленочных резистивных элементов интегральных микросхем
Номер патента: 14648
Опубликовано: 30.08.2011
Авторы: Ходарина Людмила Петровна, Зеленин Виктор Алексеевич
МПК: H01C 7/00, C22C 28/00
Метки: микросхем, материал, элементов, резистивных, тонкопленочных, интегральных
Текст:
...изобретения заключается в том, что заявляемому материалу для тонкопленочных резистивных элементов интегральных микросхем, содержащему хром, кобальт и кремний, вышеуказанный технический результат обеспечивается тем, что материал дополнительно содержит лантан при следующем соотношении компонентов,мас.хром - 8-12 кобальт - 5-9 кремний - 55-69 лантан - 18-24. В предлагаемом изобретении приемлемые для изготовления мишеней магнетронных...