Патенты с меткой «покрытие sio2–основа si»

Номер патента: 17232

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Зеленин Виктор Алексеевич, Ходарина Людмила Петровна

МПК: H01L 21/66, G01L 1/25

Метки: контроля, кремниевой, остаточных, структуре, покрытие sio2–основа si, напряжений, способ

Текст:

...тонкой оболочки. По условию минимума свободной энергии край отделенной полоски покрытия должен был бы принять форму волны с осью симметрии,лежащей в срединной плоскости покрытия. Однако поскольку прогиб полоски возможен только в одну сторону (вверх от основы), то свободный край полоски изгибается по некоторой, как правило несимметричной, волнообразной кривой, смещенной вверх от основы. Волнообразный изгиб свободного края покрытия...