G05D 23/00 — Регулирование температуры
Способ травления пленки диоксида кремния при аэрозольной химической очистке полупроводниковых пластин
Номер патента: 17333
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович
МПК: G05D 23/00, B08B 3/02, H01L 21/02...
Метки: полупроводниковых, химической, травления, очистке, кремния, диоксида, пленки, способ, аэрозольной, пластин
Текст:
...с прототипом показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что перед травлением выполняют термостабилизацию поверхности пластин путем подачи деионизованной воды комнатной температуры в течение 3-7 мин при вращении пластин со скоростью 20-200 об./мин и сброса воды с пластин при вращении со скоростью 350-450 об./мин в течение 10-25 с. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения...
Система водяного отопления помещений дома
Номер патента: 14759
Опубликовано: 30.08.2011
Автор: Синяков Анатолий Леонидович
МПК: F24D 10/00, G05D 23/00
Метки: отопления, водяного, система, дома, помещений
Текст:
...напротив указателя настройки. Изменением режимов работы системы в течение суток достигается значительная экономия тепловой энергии на отопление помещений дома. Недостатком этой системы водяного отопления помещений дома является сложность ее эксплуатации. Сложность эксплуатации обусловлена необходимостью вовремя изменить вручную режимы работы системы в течение суток путем установки соответствующего знака на крышке термочувствительного...
Устройство подачи паров жидкого вещества в реактор установки химического осаждения из газовой фазы
Номер патента: 11859
Опубликовано: 30.04.2009
Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Сидерко Александр Александрович, Наливайко Олег Юрьевич, Плебанович Владимир Иванович
МПК: F24H 9/02, B01F 03/04, G05D 23/00...
Метки: вещества, установки, реактор, паров, осаждения, устройство, газовой, химического, подачи, жидкого, фазы
Текст:
...использование резервуара меньшей емкости (например, 5 литров или менее). Использование обогреваемого трубопровода для подачи паров жидкого вещества в реактор технологической установки позволяет исключить конденсацию паров и засорение трубопровода. Для исключения конденсации паров внутри трубопровода необходимо обеспечить нагрев трубопровода до температуры на 2-5 С выше температуры паров жидкого вещества. Использование измерителя потока паров...