Красневская Юлия Ивановна
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9932
Опубликовано: 28.02.2014
Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна
МПК: G03B 27/42
Метки: фокусировки, устройство, автоматической
Текст:
...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9150
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Орлова Татьяна Львовна, Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович
МПК: G03B 27/42
Метки: автоматической, устройство, фокусировки
Текст:
...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...
Объектив с переменным фокусным расстоянием
Номер патента: 15479
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Крот Вадим Валентинович, Желтов Георгий Иванович, Красневская Юлия Ивановна, Иваненко Владимир Афанасьевич, Гуревич Элла Семеновна, Аваков Сергей Мирзоевич, Цуран Владимир Ильич
МПК: G02B 15/00
Метки: объектив, фокусным, расстоянием, переменным
Текст:
...изображения, а также усложняет и увеличивает время процесса обработки изображения в приборах, где он используется. Задачей изобретения является разработка объектива с постоянным задним отрезком и масштабом изображения во всем рабочем диапазоне расстояний до плоскости предметов. Поставленная задача достигается тем, что объектив содержит последовательно установленные первый трехлинзовый компонент, первая линза которого выполнена в виде...