Орлова Татьяна Львовна
Устройство автоматической фокусировки
Номер патента: U 9150
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович, Орлова Татьяна Львовна, Есьман Василий Михайлович
МПК: G03B 27/42
Метки: автоматической, устройство, фокусировки
Текст:
...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...