Окорок Анатолий Григорьевич

Номер патента: U 6302

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Окорок Анатолий Григорьевич, Стасевич Михаил Николаевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 7/28, G03B 27/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...когерентным излучением приводит к интерференции пучков в пленках технологических слоев,2 63022010.06.30 снижению их мощности, искажению формы и, как следствие, к погрешности отсчета фокусировки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния топологии и технологических слоев на погрешность отсчета плоскости фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что...