Трубчик Иван Трофимович

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Трубчик Иван Трофимович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: экспонирующая, система, проекционная

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...