C09K 13/00 — Составы для травления, поверхностного осветления или декапирования

Номер патента: 14849

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Тептеев Алексей Алексеевич, Савостьянова Наталья Александровна

МПК: H01L 21/306, C09K 13/00

Метки: слоев, селективный, травитель, относительно, ingaas, ingaasp

Текст:

...под действием перекиси водорода происходит окисление поверхности эпитаксиального слоя с образованием соответствующих оксидов. Затем под действием молочной кислоты образованные оксиды растворяются. Чистота (марка) применяемых компонентов, используемых при изготовлении селективного травителя, определяется требованиями конкретного технологического процесса производства изделий микроэлектроники. 14849 1 2011.10.30 Выбранный состав травителя...

Номер патента: 12666

Опубликовано: 30.12.2009

Автор: Новиков Владимир Прокофьевич

МПК: C08J 7/00, C09K 13/00

Метки: раствор, фторсодержащих, активации, поверхности, полимеров

Текст:

...является создание раствора для активации поверхности фторсодержащих полимеров, обеспечивающего высокую адгезию поверхности активированного полимера к металлам. Поставленная задача достигается за счет того, что раствор для активации поверхности фторсодержащих полимеров содержит щелочной металл и аммиак. Новым, по мнению авторов, является то, что раствор содержит щелочной металл в концентрации 0,5 моль/литр и дополнительно содержит ацетилид...

Номер патента: 11176

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Плебанович Владимир Иванович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/02, C09K 13/00

Метки: поверхности, химической, качества, растворе, контроля, способ, очистки, пластины, полупроводниковой, ph больше 7, кремниевой

Текст:

...примера реализации заявляемого способа проведены исследования контроля качества кремниевых пластин после химической очистки в перекисно-аммиачном растворе. Для этого были изготовлены 16 контрольных кремниевых пластин. Для изготовления контрольных пластин были взяты кремниевые подложки КДБ 12 диаметром 150 мм, на которых были выполнены следующие технологические операции ионное легирование фосфором с энергией ионов Е 60 кэВ и дозой Д 800...