Патенты с меткой «ph больше 7»

Номер патента: 11176

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Иванчиков Александр Эдуардович, Емельянов Виктор Андреевич, Медведева Анна Борисовна, Плебанович Владимир Иванович

МПК: H01L 21/02, C09K 13/00

Метки: контроля, очистки, полупроводниковой, химической, поверхности, растворе, кремниевой, способ, ph больше 7, качества, пластины

Текст:

...примера реализации заявляемого способа проведены исследования контроля качества кремниевых пластин после химической очистки в перекисно-аммиачном растворе. Для этого были изготовлены 16 контрольных кремниевых пластин. Для изготовления контрольных пластин были взяты кремниевые подложки КДБ 12 диаметром 150 мм, на которых были выполнены следующие технологические операции ионное легирование фосфором с энергией ионов Е 60 кэВ и дозой Д 800...