Патенты с меткой «травитель»

Номер патента: 14849

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Тептеев Алексей Алексеевич, Савостьянова Наталья Александровна

МПК: C09K 13/00, H01L 21/306

Метки: ingaas, относительно, травитель, слоев, селективный, ingaasp

Текст:

...под действием перекиси водорода происходит окисление поверхности эпитаксиального слоя с образованием соответствующих оксидов. Затем под действием молочной кислоты образованные оксиды растворяются. Чистота (марка) применяемых компонентов, используемых при изготовлении селективного травителя, определяется требованиями конкретного технологического процесса производства изделий микроэлектроники. 14849 1 2011.10.30 Выбранный состав травителя...

Номер патента: 7368

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/308

Метки: травления, кремния, травитель, 100, анизотропного, ориентации

Текст:

...температуре. Процесс травления при этом растягивается во времени. А при концентрации более 10 , например 15 , заметно повышается скорость травления маскирующего оксида кремния, что приводит к ухудшению качества травления. Глицерин является пассивным компонентом травителя и не оказывает существенного влияния на скорость или направление химической реакции травления кремния. Его роль заключается в том, что он является средой, в которой...