Патенты с меткой «ingaas»
Селективный травитель слоев InGaAs относительно InGaAsP
Номер патента: 14849
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Тептеев Алексей Алексеевич, Савостьянова Наталья Александровна
МПК: C09K 13/00, H01L 21/306
Метки: относительно, ingaas, травитель, ingaasp, слоев, селективный
Текст:
...под действием перекиси водорода происходит окисление поверхности эпитаксиального слоя с образованием соответствующих оксидов. Затем под действием молочной кислоты образованные оксиды растворяются. Чистота (марка) применяемых компонентов, используемых при изготовлении селективного травителя, определяется требованиями конкретного технологического процесса производства изделий микроэлектроники. 14849 1 2011.10.30 Выбранный состав травителя...