Бордусов Сергей Валентинович
Система определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки
Номер патента: U 9421
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Цивако Алексей Александрович, Достанко Анатолий Павлович, Бордусов Сергей Валентинович, Мадвейко Сергей Игоревич, Шикуло Владимир Евгеньевич, Полыко Валерий Владимирович
МПК: H05H 1/00
Метки: система, процессов, оптимального, плазмохимической, давления, среды, проведения, обработки, свч, определения, плазмообразующей
Текст:
...зависимости для процесса удаления фоторезистивных покрытий с поверхности кремниевых подложек в атмосфере 2. Результаты исследований были положены в основу разработанной системы определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки материалов. Аналоги описываемой полезной модели представлены в 3, 4, 5. По своей технической сущности и достигаемому техническому результату к...
Устройство регулирования величины мгновенной мощности работающего на плазменную нагрузку СВЧ магнетрона
Номер патента: U 6517
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Мадвейко Сергей Игоревич, Бордусов Сергей Валентинович, Достанко Анатолий Павлович
МПК: H05B 6/66
Метки: работающего, плазменную, магнетрона, свч, нагрузку, устройство, мгновенной, мощности, регулирования, величины
Текст:
...импульсным напряжением с формой импульса, близкой к прямоугольной, что увеличивает эффективность процесса плазменной обработки материалов. Задача предлагаемой разработки состоит в создании простого и эффективного способа регулирования величины мгновенной мощности работающего на плазменную нагрузку СВЧ магнетрона. Сущность предлагаемой полезной модели заключается в создании системы регулирования величины мгновенной мощности в...
Автоматическое программно-управляемое устройство токовой защиты
Номер патента: U 6233
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Годун Дмитрий Васильевич, Достанко Анатолий Павлович, Бордусов Сергей Валентинович
МПК: H02H 3/08
Метки: защиты, устройство, автоматическое, токовой, программно-управляемое
Текст:
...элемент, соединенный с выходом мультивибратора. 2 62332010.06.30 Однако при детальном рассмотрении данного изобретения возможно обнаружить некоторую схемотехническую избыточность радиоэлементов, а также невозможность изменять время повторного включения, которое в 3 определяется параметрами ждущего мультивибратора, и порог срабатывания устройства программным образом. Схемотехническое решение, рассмотренное в 2 и 3, также применимо только для...
Устройство токовой защиты
Номер патента: 10436
Опубликовано: 30.04.2008
Авторы: Неделько Вячеслав Алексеевич, Бордусов Сергей Валентинович, Достанко Анатолий Павлович
Метки: защиты, устройство, токовой
Текст:
...усилителя, содержащая два резистивных элемента фильтр нижних частот, установленный на выходе операционного усилителя блок триггерной защиты, состоящий из -триггера и ждущего мультивибратора с цепью обратной связи с триггером,входустановки которого соединен с выходом компаратора, на инвертирующий вход которого подано опорное напряжение коммутирующий элемент, соединенный с выходом мультивибратора. Сущность изобретения заключается в том, что...
Устройство для плазменной обработки материалов
Номер патента: 7025
Опубликовано: 30.06.2005
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Бордусов Сергей Валентинович, Варатницкий Владимир Владимирович, Ануфриев Леонид Петрович
МПК: H01L 21/302
Метки: устройство, обработки, плазменной, материалов
Текст:
...устройство содержит диэлектрическую разрядную камеру, выполненную в виде вертикально расположенного и герметично закрытого с обоих торцов полого кварцевого цилиндра с размещенными внутри верхним и нижним плоскопараллельными электродами, а магнитная система выполнена в виде двух соленоидов, расположенных друг над другом вокруг кварцевого цилиндра, обмотки которых расположены между ограничительными стальными дисками-магнитопроводами,...
Устройство для измерения напряженности электрического поля
Номер патента: U 1336
Опубликовано: 30.03.2004
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Адамович Александр Леонидович, Грозберг Юрий Геннадьевич, Бордусов Сергей Валентинович, Кундас Семен Петрович, Капралов Михаил Егорович
МПК: G01R 29/08
Метки: измерения, электрического, устройство, напряженности, поля
Текст:
...поля. Задача полезной модели - обеспечение возможности измерения напряженности мощных СВЧ электрических полей и нахождения их пространственного распределения. Поставленная задача решается тем, что устройство для измерения напряженности электрического поля, включающее датчик, представляющий собой заполненный инертным газом герметичный сосуд из материала, прозрачного для СВЧ полей, помещенный в герметичный кожух из аналогичного материала,...