Мадвейко Сергей Игоревич
Система определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки
Номер патента: U 9421
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Мадвейко Сергей Игоревич, Полыко Валерий Владимирович, Цивако Алексей Александрович, Бордусов Сергей Валентинович
МПК: H05H 1/00
Метки: плазмохимической, обработки, оптимального, давления, определения, свч, среды, процессов, система, проведения, плазмообразующей
Текст:
...зависимости для процесса удаления фоторезистивных покрытий с поверхности кремниевых подложек в атмосфере 2. Результаты исследований были положены в основу разработанной системы определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки материалов. Аналоги описываемой полезной модели представлены в 3, 4, 5. По своей технической сущности и достигаемому техническому результату к...
Устройство регулирования величины мгновенной мощности работающего на плазменную нагрузку СВЧ магнетрона
Номер патента: U 6517
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Мадвейко Сергей Игоревич, Бордусов Сергей Валентинович
МПК: H05B 6/66
Метки: работающего, регулирования, устройство, мгновенной, свч, нагрузку, магнетрона, плазменную, величины, мощности
Текст:
...импульсным напряжением с формой импульса, близкой к прямоугольной, что увеличивает эффективность процесса плазменной обработки материалов. Задача предлагаемой разработки состоит в создании простого и эффективного способа регулирования величины мгновенной мощности работающего на плазменную нагрузку СВЧ магнетрона. Сущность предлагаемой полезной модели заключается в создании системы регулирования величины мгновенной мощности в...