Варатницкий Владимир Владимирович
Устройство для плазменной обработки материалов
Номер патента: 7025
Опубликовано: 30.06.2005
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Ануфриев Леонид Петрович, Бордусов Сергей Валентинович, Варатницкий Владимир Владимирович
МПК: H01L 21/302
Метки: обработки, устройство, плазменной, материалов
Текст:
...устройство содержит диэлектрическую разрядную камеру, выполненную в виде вертикально расположенного и герметично закрытого с обоих торцов полого кварцевого цилиндра с размещенными внутри верхним и нижним плоскопараллельными электродами, а магнитная система выполнена в виде двух соленоидов, расположенных друг над другом вокруг кварцевого цилиндра, обмотки которых расположены между ограничительными стальными дисками-магнитопроводами,...