Полыко Валерий Владимирович
Система определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки
Номер патента: U 9421
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Бордусов Сергей Валентинович, Достанко Анатолий Павлович, Цивако Алексей Александрович, Мадвейко Сергей Игоревич, Шикуло Владимир Евгеньевич, Полыко Валерий Владимирович
МПК: H05H 1/00
Метки: обработки, определения, оптимального, система, среды, процессов, проведения, плазмохимической, свч, давления, плазмообразующей
Текст:
...зависимости для процесса удаления фоторезистивных покрытий с поверхности кремниевых подложек в атмосфере 2. Результаты исследований были положены в основу разработанной системы определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки материалов. Аналоги описываемой полезной модели представлены в 3, 4, 5. По своей технической сущности и достигаемому техническому результату к...