Патенты с меткой «плазмохимической»
Система определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки
Номер патента: U 9421
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Мадвейко Сергей Игоревич, Шикуло Владимир Евгеньевич, Полыко Валерий Владимирович, Цивако Алексей Александрович, Бордусов Сергей Валентинович
МПК: H05H 1/00
Метки: свч, плазмообразующей, оптимального, обработки, процессов, проведения, давления, среды, определения, система, плазмохимической
Текст:
...зависимости для процесса удаления фоторезистивных покрытий с поверхности кремниевых подложек в атмосфере 2. Результаты исследований были положены в основу разработанной системы определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки материалов. Аналоги описываемой полезной модели представлены в 3, 4, 5. По своей технической сущности и достигаемому техническому результату к...