Патенты с меткой «плазмообразующей»
Система определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки
Номер патента: U 9421
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Бордусов Сергей Валентинович, Достанко Анатолий Павлович, Мадвейко Сергей Игоревич, Полыко Валерий Владимирович, Цивако Алексей Александрович, Шикуло Владимир Евгеньевич
МПК: H05H 1/00
Метки: процессов, определения, среды, плазмообразующей, оптимального, обработки, система, давления, плазмохимической, проведения, свч
Текст:
...зависимости для процесса удаления фоторезистивных покрытий с поверхности кремниевых подложек в атмосфере 2. Результаты исследований были положены в основу разработанной системы определения оптимального давления плазмообразующей среды для проведения процессов СВЧ плазмохимической обработки материалов. Аналоги описываемой полезной модели представлены в 3, 4, 5. По своей технической сущности и достигаемому техническому результату к...