Патенты с меткой «кмоп»
Способ изготовления высокоомного полупроводникового резистора КМОП интегральной схемы
Номер патента: 16100
Опубликовано: 30.08.2012
Авторы: Сорока Сергей Александрович, Сякерский Валентин Степанович, Лукашова Надежда Васильевна, Лемешевская Алла Михайловна
МПК: H01L 21/8238, H01C 1/00, H01C 7/00...
Метки: схемы, резистора, изготовления, способ, полупроводникового, интегральной, высокоомного, кмоп
Текст:
...слоя диэлектрика, которым формируют конфигурацию областей активных структур, включая резистор, поликремниевых затворов, областей стоков -типа,областей стоков -типа одновременно с низкоомными областями -типа резистора, высокоомного слоя -типа резистора ионным легированием бора по всей поверхности подложки проведение отжига при температуре 450-850 С формирование межслойного диэлектрика и металлических контактов к поликремниевым затворам,...