Патенты с меткой «аэрозольного»
Способ аэрозольного удаления фоторезиста и полимерных загрязнений с поверхности полупроводниковых кремниевых пластин после плазмохимического травления
Номер патента: 16838
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Медведева Анна Борисовна, Трусов Виктор Леонидович, Иванчиков Александр Эдуардович, Кисель Анатолий Михайлович, Турцевич Аркадий Степанович
МПК: H01L 21/30
Метки: после, фоторезиста, пластин, плазмохимического, травления, полимерных, загрязнений, кремниевых, поверхности, полупроводниковых, удаления, способ, аэрозольного
Текст:
...а увеличение концентрации аммиака более 1,5 объемных частей приводит к увеличению скорости травления пленки 2 и подтравам поликремния. Снижение концентрации перекиси водорода в смеси аммиака, перекиси водорода и воды менее 1,0 объемной части приводит к увеличению привнесенной дефектности, и наблюдаются подтравы поликремния, а увеличение концентрации перекиси водорода более 1,5 объемных частей приводит к неполному удалению полимера. Снижение...
Установочный узел клапана для аэрозольного баллончика и способ его образования
Номер патента: 3965
Опубликовано: 30.06.2001
Автор: undefined
МПК: B65D 53/00
Метки: баллончика, узел, образования, клапана, способ, установочный, аэрозольного
Текст:
...график, аналогичный фиг. 13, но для системы лак для волос-диметилэфир фиг. 15 - график, аналогичный фиг. 13, но для системы этанол-вода-пропан/бутан (0,35 МПа) фиг. 16 А - 16 Е - частичные схематические виды в поперечном сечении, показывающие различные стадии продвижения манжетной прокладки, согласно этому изобретению, на установочной крышке с помощью закругленной закраины баллончика. Подробное описание предпочтительных вариантов. На фиг. 1...