Устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда

(51) МПК НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА(71) Заявитель Государственное учреждение высшего профессионального образования Белорусско-Российский университет(72) Авторы Логвин Владимир Александрович Редько Всеволод Петрович Волченков Александр Владимирович Логвина Екатерина Владимировна Терешко Ирина Васильевна(73) Патентообладатель Государственное учреждение высшего профессионального образования Белорусско-Российский университет(57) 1. Устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда,содержащее токопроводящий контур, который подключен к регистрирующему устройству, отличающееся тем, что токопроводящий контур намотан на диэлектрический корпус,который установлен снаружи вакуумной камеры около смотрового окна, при этом одна ось симметрии токопроводящего контура расположена в плоскости, параллельной плоскости смотрового окна, а вторая ось симметрии токопроводящего контура перпендикулярна ей. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что дополнительно снабжено по меньшей мере одним токопроводящим контуром и токопроводящие контуры расположены с равным угловым шагом относительно оси симметрии токопроводящего контура перпендикулярной плоскости смотрового окна вакуумной камеры по периметру диэлектрического корпуса. 3. Устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что токопроводящий контур или токопроводящие контуры выполнены в виде пакетов.(56) 1. Калашников С.Г. Электричество. Учебн. пособие для вузов. - М., 1970. - С. 410-414,рис. 350. 2. Физический энциклопедический словарь / Гл. ред. А.М. Прохоров. Ред. кол. Д.М. Алексеев, А.М. Бонч-Бруевич, А.С. Боровик-Романов и др.- М. Сов. энциклопедия,1983. - С. 872. Полезная модель относится к машиностроению к области обработки металлических и неметаллических материалов немеханическими способами, характеризующимися диодным распылением материала в плазме тлеющего разряда и ионным внедрением, и может быть использована для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда при упрочнении изделий из различных материалов. Известное устройство для контроля плазмы тлеющего разряда основано на измерении напряжения и силы тока, при этом электроды расположены на корпусе 1. Данное устройство для контроля плазмы тлеющего разряда предполагает большое количество регистрирующих устройств для измерения напряжения и силы тока в разных точках разряда и не позволяет контролировать величину магнитного потока в тлеющем разряде и его изменение во времени. Наиболее близким по технической сущности и достигаемым результатам является устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда, содержащее токопроводящий контур, который подключен к регистрирующему устройству 2. Данное устройство, принятое за прототип, регистрирует значительные изменения магнитного потока. Вследствие того что электромагнитное излучение плазмы тлеющего разряда при использовании азота, аргона, водорода или воздуха имеет различные изменения магнитного потока в разряде, необходимо осуществлять контроль изменений магнитного потока и соответственно величины электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда. Задачей данной полезной модели является повышение чувствительности и качества контроля параметров плазмы тлеющего разряда в процессе обработки изделий за счет использования контроля электромагнитного излучения, а также удобства, быстроты и достоверности настройки параметров плазмы для обработки. Указанная задача решается в устройстве для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда, содержащем токопроводящий контур, который подключен к регистрирующему устройству, согласно полезной модели, токопроводящий контур намотан на диэлектрический корпус, который установлен снаружи вакуумной камеры около смотрового окна, при этом одна ось симметрии токопроводящего контура расположена в плоскости, параллельной плоскости смотрового окна, а вторая ось симметрии токопроводящего контура перпендикулярна ей. Дополнительно устройство снабжено по меньшей мере одним токопроводящим контуром, и токопроводящие контуры расположены с равным угловым шагом относительно оси симметрии токопроводящего контура перпендикулярной плоскости смотрового окна вакуумной камеры по периметру диэлектрического корпуса. Токопроводящий контур или токопроводящие контуры выполнены в виде пакетов. В процессе обработки изделий из металлов и сплавов в плазме тлеющего разряда для достижения оптимальных параметров плазмы и соответственно качества обработки необходимо контролировать степень электромагнитного излучения плазмы. Плазма тлеющего разряда, особенно на воздухе, отличается сложным химическим составом и неравновесностью, что приводит к значительным колебаниям величины и скорости изменения магнитного потока в разряде. Поэтому контроль электромагнитного излучения плазмы актуален при обработке изделий в плазме тлеющего разряда. Сущность полезной модели поясняется фигурами, на которых схематично изображено заявляемое устройство. На фиг. 1 показан вид спереди заявляемого устройства с пакетом 2 99632014.02.28 токопроводящих контуров, намотанным на диэлектрический корпус на фиг. 2 - вид спереди вакуумной камеры с регистрирующим устройством, например осциллографом, с выходом токопроводящего контура на корпус на фиг. 3 - расположение пакетов токопроводящих контуров относительно перпендикулярной оси симметрии токопроводящего контура смотровому окну вакуумной камеры с равным угловым шагом на фиг. 4 - расположение пакетов токопроводящих контуров относительно перпендикулярной оси симметрии токопроводящего контура смотровому окну вакуумной камеры с равным угловым шагом на торовом на диэлектрическом корпусе на фиг. 5 - расположение осей симметрии токопроводящего контура по отношению к плоскости смотрового окна вакуумной камеры. Устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда состоит из корпуса 1, диэлектрического корпуса 2, на который намотаны токопроводящий контур 3 или пакетов токопроводящих контуров 4. Выход 5 токопроводящего контура 3 или пакеты токопроводящих контуров 4 подсоединен к регистрирующему устройству 6. Расположение пакетов токопроводящих контуров 4 относительно перпендикулярной оси 7 симметрии токопроводящего контура 3 плоскости 8 смотрового окна 9 вакуумной камеры 10 с равным угловым шагом 11, например, на торовом 12 диэлектрического корпуса 2. Устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда работает следующим образом. Перед обработкой упрочняемых изделий около смотрового окна 9 вакуумной камеры 10 устанавливается устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда и подсоединяется к регистрирующему устройству 6 через выход 5. Корпус 1 устройства устанавливается так, чтобы диэлектрический корпус 2 с токопроводящим контуром 3 или пакетами токопроводящих контуров 4 располагался одной осью симметрии параллельно плоскости 8 смотрового окна 9, а второй - перпендикулярно ей и как можно ближе к плоскости 8 смотрового окна 9. Расположение токопроводящих контуров 3 или пакетов токопроводящих контуров 4 с равным угловым шагом 11 позволяет устанавливать корпус 1 произвольно относительно оси 7 перпендикулярной плоскости смотрового окна 9 вакуумной камеры 10. Время выдержки упрочняемых изделий под воздействием плазмы тлеющего разряда необходимо отсчитывать лишь после того, как показания на регистрирующем устройстве 6 стабилизируются. Для контроля можно использовать устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда, изображенное на фиг. 1, 3, 4. Использование заявляемого устройства позволяет сократить время выхода установки на режим и строго контролировать его в процессе обработки, что сокращает энергопотребление и стабилизирует качество обработки излучением плазмы тлеющего разряда в вакууме. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 4