Устройство для нанесения покрытий в вакууме

(51) МПК (2006) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ(71) Заявитель Государственное научное учреждение Институт порошковой металлургии(72) Авторы Андреев Михаил Анатольевич Саевич Леонтий Михайлович Суворов Анатолий Николаевич Суворов Александр Анатольевич Рыжкова Юлия Александровна(73) Патентообладатель Государственное научное учреждение Институт порошковой металлургии(57) Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, привод вращения, внутрикамерную оснастку, состоящую из рамы на роликах, барабана и кассет с заготовками, отличающееся тем, что барабан, состоящий из двух дисков, стянутых между собой стяжками и валом, дополнительно содержит узлы вращения с держателями и приводными звездочками, фиксаторы, расположенные на поверхности одного диска, копир, расположенный на передней опоре, рамки, снабженные подпружиненными защелками,барабан крепят к раме при помощи двух опор, на одной из которых расположены три неподвижных ролика, вращение барабана осуществляют при помощи привода, соединенного с валом барабана и снабженного предохранительным устройством, кассета состоит из каркаса, направляющих и держателя с пружинами, в пазы которого помещают заготовку. 45682008.08.30 Полезная модель предназначена для нанесения покрытий в вакууме и может быть использована на установках вакуумного напыления. Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, привод вращения, внутрикамерную оснастку, состоящую из рамы на роликах, барабана типа беличье колесо и кассет-держателей с заготовками 1. Недостатком устройства является отсутствие предохранительного механизма в конструкции привода вращения, дисбаланс барабана при вращении внутрикамерной оснастки,отсутствие механизма поворота кассет-держателей, что делает невозможным нанесение покрытия на обе поверхности детали за один установ. Для загрузки и разгрузки камеры необходимо выкатывать внутрикамерную оснастку из камеры на тележку, что увеличивает трудоемкость процесса. Задачей полезной модели является разработка устройства для нанесения покрытий в вакууме на установках вакуумного напыления, обеспечивающего расширение технических возможностей, повышение качества наносимого покрытия, а также снижение трудоемкости технологического процесса. Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для нанесения покрытий в вакууме, содержащем вакуумную камеру, привод вращения, внутрикамерную оснастку,состоящую из рамы на роликах, барабана и кассет с заготовками, барабан, состоящий из двух дисков, стянутых между собой стяжками и валом, дополнительно содержит узлы вращения с держателями и приводными звездочками, фиксаторы, расположенные на поверхности переднего диска, копир, расположенный на передней опоре, рамки, снабженные подпружиненными защелками, барабан крепится к раме при помощи двух опор, на одной из которых расположены три неподвижных ролика вращение барабана осуществляют при помощи привода, соединенного с валом барабана, и снабженного предохранительным устройством кассета состоит из каркаса, направляющих и держателя с пружинами, в пазы которого помещают заготовку. На фиг. 1 изображен вид устройства для нанесения покрытий в разрезе. На фиг. 2 приведен вид спереди устройства для нанесения покрытий. На фиг. 3 изображена рамка с кассетой. На фиг. 1 и фиг. 2 изображено устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру 1, привод вращения с предохранительным устройством 2, предотвращающим сбои в работе электродвигателя, внутрикамерную оснастку, состоящую из рамы на роликах 3, барабана, образованного двумя дисками 4 и 5, стянутыми между собой стяжками 6 и валом 7. На дисках 4 и 5 барабана находятся узлы вращения с держателями 8,в которых закрепляются рамки 9. В рамки 9, снабженные подпружиненными защелками 10,в продольном направлении помещают кассеты 11 с заготовками 12. На диске 4 барабана расположены приводные звездочки 13 и фиксаторы 14. Барабан крепится к раме 3 при помощи двух опор 15. На передней опоре 15 расположены три неподвижных ролика 16 и копир 17. Кассета 11 состоит из каркаса 18 (фиг. 3), изготовленного из двух частей, соединенных между собой гайками 19, направляющих 20, на которые устанавливают держатели 21 с пружинами 22. Устройство для нанесения покрытий работает следующим образом. Внутрикамерную оснастку, включающую раму на роликах 3, барабан, состоящий из двух дисков 4 и 5, стяжек 6, вала 7 и рамки 9, подвозят к вакуумной камере на технологической тележке и по направляющим закатывают в вакуумную камеру 1. Проворачивая барабан, в рамки 9 устанавливают кассеты 11 с заготовками 12. Для установки кассеты 11 достаточно отвести подпружиненную защелку 10 и вытянуть кассету 11 с заготовками 12. Таким же способом осуществляют снятие кассет. Барабан приводят во вращение электродвигателем через привод вращения с предохранительным устройством 2. Одновременно с вращением барабана осуществляют процесс 2 45682008.08.30 напыления заготовок. Когда одна из кассет 11 с заготовками 12 проходит копир 17, фиксатор 14 освобождает звездочку 13, и последняя, обкатываясь по трем неподвижным роликам 16, проворачивает рамку 9 с кассетой 11 на 180 вокруг собственной оси. При дальнейшем повороте барабана фиксатор 14 занимает исходное положение и снова фиксирует звездочку 13, в результате чего стопорится рамка 9 с кассетой 11. В результате того что кассета с заготовками в процессе нанесения покрытия изменяет положение на 180, предлагаемое устройство позволяет обрабатывать заготовку за один установ, что снижает трудоемкость процесса. За счет того что кассеты с заготовками являются съемными, исключается необходимость извлечения внутрикамерной оснастки из камеры для каждого цикла напыления. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3