Григорович Игорь Михайлович
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 8640
Опубликовано: 30.12.2006
Авторы: Синцов Сергей Иванович, Григорович Игорь Михайлович, Жоглик Игорь Николаевич
МПК: C23C 14/32, C23C 14/54, C23C 14/00...
Метки: способ, вакууме, покрытий, нанесения
Текст:
...потенциала смещения на изделие.Поставленная задача решается способом нанесения покрытий в вакууме, включающим предварительную подготовку поверхности обрабатываемых изделий, размещение изделий на приспособлении в вакуумной камере, очистку, нагрев и активацию поверхности изделия нейтральными или ионизированными частицами азота или аргона перед нанесением покрытия, приложение к приспособлению электрического смещения путем подачи положительных...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 8431
Опубликовано: 30.08.2006
Авторы: Синцов Сергей Иванович, Григорович Игорь Михайлович, Жоглик Игорь Николаевич
МПК: C23C 14/24
Метки: устройство, покрытий, вакууме, нанесения
Текст:
...происходит несимметричная нагрузка трансформатора в процессе вакуумно-дугового осаждения покрытия. Задачей предлагаемого изобретения является создание устройства для нанесения покрытий в вакууме, обеспечивающего получение покрытий повышенного качества на более широкий ряд материалов изделий (силумины, латунь, пластмассы) и позволяющего наиболее эффективно использовать мощность вакуумно-дугового разряда в процессе осаждения покрытий....
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: U 1246
Опубликовано: 30.03.2004
Авторы: Григорович Игорь Михайлович, Синцов Сергей Иванович, Жоглик Игорь Николаевич
МПК: C23C 14/35
Метки: устройство, вакууме, нанесения, покрытий
Текст:
...полезной модели является создание устройства для нанесения покрытий в вакууме, позволяющее осуществлять длительные непрерывные (20-40 ч) режимы нанесения покрытий со скоростью осаждения более 1 мкм/ч. Поставленная задача решается следующим образом в устройстве для нанесения покрытий в вакууме, содержащем корпус, соленоид, размещенный на корпусе, расходуемый металлический катод, установленный в корпусе эксцентрично относительно оси...