Обухов В. Е.

Номер патента: 360

Опубликовано: 30.03.1995

Авторы: Обухов В. Е., Буравцев А. Т., Рубан Геннадий Иосифович, Точицкий Эдуард Иванович

МПК: C23C 14/26

Метки: нанесения, покрытий, вакууме, устройство

Текст:

...каналов уменьшаются к периферии формирователя. Удлиненные стенки центральных КЗНЗЛОБ ОТКЛОНЯЮТ часть потока к периферии подложки. Повышение козффициента использования-материала покрытия обеспечивается за сиет 25 того, что каналы формирователя фонусируют поток пара в основном на подложку, а Не вне ее.КОГДЗ ОСИ КЗНЭПОВ направлены В зону подложкодержателя, расположеннуюзо на расстоянии ближе 0,63 от его цент ра, то перекрытие потоков пара...

Номер патента: 359

Опубликовано: 30.03.1995

Авторы: Буравцев А. Т., Обухов В. Е., Грицкевич Р. Н., Точицкий Э. И.

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Текст:

...охлаждается. Ножеаидные элементы 4 чдспарителяпредставляют собой концентрически пасло ложенныедкольца. Колеца соедииенъгмежду собой и с внешним усеченным тюиусом 2 с помощью теп-лопроаодящик ребер 9. Завет он между кольцами 055-3 мы. уголузлеме-нтовКаналы испарителя. количество которых составляет 16. оканчиваются в основании гсольцеобразньпми щеллми шириной 01-3 мм. Углы расходимости стенок каналов составляют 2-2 ОС Для повышения степени...