Контактное зондовое устройство

(12) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ(71) Заявитель Государственное научное учреждение Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси(72) Авторы Званкович Андрей Павлович Обухов Вячеслав Евгеньевич Завало Петр Константинович(73) Патентообладатель Государственное научное учреждение Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси(57) Контактное зондовое устройство для тестирования интегральных схем, сформированных на полупроводниковой пластине, содержащее корпус и держатель пакета с боковыми кронштейнами, между которыми посредством поперечной оси, жестко закрепленной в кронштейнах, собраны в пакеты плоские металлические зонды с изолирующими разделителями, а каждый из зондов имеет контактную и плечевую с внешним выводом части, отличающееся тем, что каждый из зондов выполнен с возможностью вращения вокруг поперечной оси, а держатель пакета с боковыми кронштейнами снабжен верхним жестким и нижним упругим упорами, расположенными параллельно поперечной оси. 21342005.09.30 Полезная модель относится к микроэлектронике и может быть использована в производстве интегральных схем для тестирования электрических характеристик интегральных схем на полупроводниковой пластине. Известно контактное устройство, содержащее упругие фигурные металлические пластины зондов и соединитель для подключения проверяемых приборов 1. Недостатком данного устройства является то, что в процессе тестирования, когда происходит контакт зонда с контактной площадкой интегральной схемы,из-за наличия высокотвердой окисной пленки на слое металлизации контактной площадки упругий наконечник металлического зонда не всегда может разрушить данную пленку и обеспечить надежный контакт со слоем металлизации, что снижает достоверность тестирования интегральных схем. Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является контактное зондовое устройство, содержащее боковые кронштейны, между которыми посредством осей собраны в пакеты металлические зонды с изолирующими разделителями 2. Контактная часть каждого из зондов расположена на плече, имеющем вид плоской пружины для обеспечения необходимого давления на контактную площадку интегральной схемы. Зонды в блоке закреплены между собой жестко. Контактное зондовое устройство закреплено в зондовой головке с возможностью регулировки относительно контактных площадок интегральных схем по осям , У ии разворотом в плоскости ХУ дополнительным устройством. Недостатками данного устройства являются сложность конструкции зондовой головки и увеличение трудоемкости по ее наладке, а также снижение надежности и достоверности тестирования интегральных схем. Задачей полезной модели является обеспечение достоверности тестирования интегральных схем. Для достижения поставленной задачи контактное зондовое устройство для тестирования интегральных схем, содержащее корпус и держатель пакета с боковыми кронштейнами, между которыми посредством поперечной оси, жестко закрепленной в кронштейнах,собраны в пакеты плоские металлические зонды с изолирующими разделителями, а каждый из зондов имеет контактную и плечевую с внешним выводом части, причем каждый из зондов выполнен с возможностью вращения вокруг поперечной оси, а держатель пакета с боковыми кронштейнами снабжен верхним жестким и нижними упругим упорами,расположенными параллельно поперечной оси. Таким образом достигается поставленная техническая задача. Полезная модель поясняется графическими материалами, где на фиг. 1 изображен общий вид устройства в аксонометрии, со сдвинутой влево по разрыву частью устройства на фиг. 2 - вид сбоку с разрезом контактного зондового устройства на фиг. 3 - кинематическая схема движения наконечника контактной части зонда по поверхности контактной площадки интегральной схемы. Контактное зондовое устройство содержит корпус 1 и держатель пакета 2 зондов с боковыми кронштейнами 3, между которыми на поперечной оси 4, жестко закрепленной в кронштейнах 3, собраны в пакеты плоские металлические зонды 5 с изолирующим разделителем 6. Каждый из зондов 5 имеет контактную 8 и плечевую 9 с внешним выводом 10 части, причем внешний вывод 10 каждого зонда 5 для удобства подключения его к приборным устройствам (на чертеже не показано) изогнут в поперечном направлении. Каждый из зондов 5 выполнен с возможностью вращения вокруг поперечной оси 4. Держатель пакета 2 зондов 5 с боковыми кронштейнами 3 снабжен верхним 11 жестким и нижним 12 упругим упорами, расположенными параллельно поперечной оси 4. Верхний 11 жесткий упор неподвижно установлен между кронштейнами 3 держателя 2, а нижний 12 упругий упор установлен в канавке 13 направляющих 14 держателя пакета 2. Для придания жесткости и точности работы устройства держатель пакета 2 посредством одного из кронштейнов 3 прижат к боковой стенке 15 корпуса 1 пружинкой 16, а снизу пружинкой 17 к пластине 18 корпуса 1. Плоские металлические зонды 5 с изолирующими разделителями 6 2 21342005.09.30 собраны в пакеты по эталону 19 таким образом, чтобы соответствовать положению на контактных площадках 20 полупроводниковой пластины 7. Устройство работает следующим образом. При подъеме тестируемой полупроводниковой пластины 7 на высотупо осиконтактная площадка 20 полупроводниковой пластины 7 соприкасается с контактной частью 8 металлического зонда 5, при этом последний поворачивается вокруг поперечной оси 4 плечевой 9 частью соприкасается с нижним упругим упором 12, а контактная часть 8 проходит по поверхности контактной площадки 20 расстояние , вскрывая окисный слой до надежного электрического соединения и снятия сигнала с вывода 10 интегральной схемы. Надежность контактной нагрузки между контактной площадкой 20 и зондом 5 обеспечивается упругим упором 12. Полезная модель может быть использована в производстве интегральных схем для тестирования электрических характеристик интегральных схем на полупроводниковой пластине. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3