Высоцкий Виктор Борисович
Диод Шоттки
Номер патента: 15400
Опубликовано: 28.02.2012
Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Сарычев Олег Эрнстович, Соловьев Ярослав Александрович, Высоцкий Виктор Борисович, Голубев Николай Федорович
МПК: H01L 29/872, H01L 29/47
Текст:
...поликристаллического кремния (ППК) в составе защитного диэлектрического покрытия выполняет функцию резистивной обкладки, обеспечивающей равномерное распределение напряжения обратного смещения по площади структуры. При толщине слоя ППК менее 0,05 мкм ухудшается равномерность распределения напряжения обратного смещения, что приводит к уменьшению обратного напряжения. При толщине слоя ППК более 0,5 мкм в защитном диэлектрическом покрытии...