Стрельцов Евгений Анатольевич
Способ фотоселективного электрохимического осаждения меди на поверхность кремниевой пластины p-типа проводимости
Номер патента: 17444
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Кулак Анатолий Иосифович, Иванов Дмитрий Константинович, Стрельцов Евгений Анатольевич, Иванова Юлия Александровна
МПК: H01L 21/18, C25D 7/12, C25D 3/38...
Метки: фотоселективного, осаждения, p-типа, электрохимического, меди, кремниевой, пластины, способ, поверхность, проводимости
Текст:
...поддержания потенциала кремниевого электрода и для устойчивого поддержанияэлектролита, а увеличение содержания 33 более 0,7 моль/л ограничено растворимостью данного соединения в воде. Влияние концентрации компонентов и потенциалов на селективность процесса осаждения меди сопоставлено в таблице. Зависимость величины фототока, темнового тока осаждения меди на -кремний и степени селективности(отношение массы меди, осаждающейся под...