Иванов Дмитрий Константинович
Способ фотоселективного электрохимического осаждения меди на поверхность кремниевой пластины p-типа проводимости
Номер патента: 17444
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Иванова Юлия Александровна, Кулак Анатолий Иосифович, Иванов Дмитрий Константинович, Стрельцов Евгений Анатольевич
МПК: H01L 21/18, C25D 3/38, C25D 7/12...
Метки: пластины, осаждения, проводимости, кремниевой, меди, фотоселективного, p-типа, электрохимического, поверхность, способ
Текст:
...поддержания потенциала кремниевого электрода и для устойчивого поддержанияэлектролита, а увеличение содержания 33 более 0,7 моль/л ограничено растворимостью данного соединения в воде. Влияние концентрации компонентов и потенциалов на селективность процесса осаждения меди сопоставлено в таблице. Зависимость величины фототока, темнового тока осаждения меди на -кремний и степени селективности(отношение массы меди, осаждающейся под...