Петров Александр Владимирович
Способ создания высокочастотного микроконденсатора на основе пленки полиимида
Номер патента: 18356
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Канюков Егор Юрьевич, Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич
Метки: микроконденсатора, создания, основе, пленки, высокочастотного, способ, полиимида
Текст:
...пФ в частотном диапазоне от 107 до 109 Гц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а главное, с необходимостью использования жесткой металлической подложки на всех стадиях изготовления микроконденсатора. Задачей заявляемого решения является упрощение способа создания высокочастотного микроконденсатора и сокращение числа технологических...
Способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора на основе полиимидной пленки
Номер патента: 16776
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Канюков Егор Юрьевич, Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич
МПК: H01F 27/28, C23C 14/34, C23C 14/04...
Метки: микроиндуктора, полиимидной, способ, высокочастотного, создания, обмотки, пленки, основе
Текст:
...мкм. На финишном этапе изготовления подложка кремния, на которой изначально формировалась многослойная структура индуктора, стравливалась,что в конечном итоге обеспечивало гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составила 10-7 Гн, а его добротность - 10 при частоте 0,1 ГГц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а...
Способ создания высокочастотного микротрансформатора
Номер патента: 16422
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Петров Александр Владимирович, Канюков Егор Юрьевич, Демьянов Сергей Евгеньевич
МПК: H01F 41/00, C23C 14/04, C23C 14/34...
Метки: микротрансформатора, способ, высокочастотного, создания
Текст:
...травления с использованием газов 2 и 3 стравливался слой - до поверхности оксида кремния на кремнии. В результате была сформирована первичная обмотка трансформатора спирального типа. Далее удалялся фоторезист и слой 2, расположенный поверх проводника -, после чего напылялся слой 2 толщиной 1,5 мкм для разделения первичной и вторичной обмоток. Аналогично первичной формировалась вторичная обмотка. Созданный таким образом планарный...
Способ получения композиционного криопроводника
Номер патента: 14978
Опубликовано: 30.10.2011
Авторы: Демьянов Сергей Евгеньевич, Петров Александр Владимирович
МПК: H01B 1/02
Метки: способ, криопроводника, получения, композиционного
Текст:
...криопроводника, что существенно снижает эффективность его применения при низких температурах из-за тепловых энергопотерь. Это связано с тем, что увеличение числа проводящих жил приводит к повышению площади поверхности контакта с матрицей и соответственно, диффузии примесей в объем проводника в процессе термообработки. 2 14978 1 2011.10.30 Задачей заявляемого решения является разработка способа получения многожильного композиционного...