H01F 27/28 — катушки; обмотки; токопроводящие соединения
Способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора на основе полиимидной пленки
Номер патента: 16776
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич, Канюков Егор Юрьевич
МПК: H01F 27/28, C23C 14/34, C23C 14/04...
Метки: микроиндуктора, высокочастотного, пленки, создания, обмотки, способ, полиимидной, основе
Текст:
...мкм. На финишном этапе изготовления подложка кремния, на которой изначально формировалась многослойная структура индуктора, стравливалась,что в конечном итоге обеспечивало гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составила 10-7 Гн, а его добротность - 10 при частоте 0,1 ГГц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а...