H01G 4/33 — тонкопленочные или толстопленочные конденсаторы
Способ создания высокочастотного микроконденсатора на основе пленки полиимида
Номер патента: 18356
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич, Канюков Егор Юрьевич
Метки: создания, способ, полиимида, микроконденсатора, основе, высокочастотного, пленки
Текст:
...пФ в частотном диапазоне от 107 до 109 Гц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а главное, с необходимостью использования жесткой металлической подложки на всех стадиях изготовления микроконденсатора. Задачей заявляемого решения является упрощение способа создания высокочастотного микроконденсатора и сокращение числа технологических...
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Номер патента: 15861
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Плиговка Андрей Николаевич, Мозалев Александр Михайлович
МПК: C25D 11/12, H01G 4/33
Метки: способ, изготовления, конденсатора, тонкопленочного
Текст:
...равна толщине слоя АОА) необходимо рассчитать величину напряжения реанодирования по формуле 1 и толщину напыляемой вспомогательной пленки тантала по формуле 2. Для предотвращения обрыва токоподвода к анодируемым участкам первого слоя алюминия величина ТП должна превышать величину ВП. Маска из защитной пленки тантала должна иметь толщину, которая полностью исключит возможность окисления защищаемой поверхности алюминия при пористом...