Патенты с меткой «микротрансформатора»

Номер патента: 16422

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич, Канюков Егор Юрьевич

МПК: C23C 14/34, H01F 41/00, C23C 14/04...

Метки: создания, высокочастотного, микротрансформатора, способ

Текст:

...травления с использованием газов 2 и 3 стравливался слой - до поверхности оксида кремния на кремнии. В результате была сформирована первичная обмотка трансформатора спирального типа. Далее удалялся фоторезист и слой 2, расположенный поверх проводника -, после чего напылялся слой 2 толщиной 1,5 мкм для разделения первичной и вторичной обмоток. Аналогично первичной формировалась вторичная обмотка. Созданный таким образом планарный...