Патенты с меткой «микроиндуктора»
Способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора на основе полиимидной пленки
Номер патента: 16776
Опубликовано: 28.02.2013
Авторы: Канюков Егор Юрьевич, Петров Александр Владимирович, Демьянов Сергей Евгеньевич
МПК: C23C 14/34, C23C 14/04, H01F 27/28...
Метки: пленки, основе, способ, высокочастотного, создания, микроиндуктора, полиимидной, обмотки
Текст:
...мкм. На финишном этапе изготовления подложка кремния, на которой изначально формировалась многослойная структура индуктора, стравливалась,что в конечном итоге обеспечивало гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составила 10-7 Гн, а его добротность - 10 при частоте 0,1 ГГц. Недостаток данного способа заключается в многостадийности технологии изготовления, связанной с применением нескольких физико-химических методик, а...