H01L 21/336 — с изолированным затвором
Способ формирования нанокристаллов германия Ge для энергонезависимой памяти
Номер патента: 17081
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Гайдук Петр Иванович, Солодуха Виталий Александрович, Новиков Андрей Геннадьевич
МПК: H01L 21/44, H01L 21/336
Метки: памяти, энергонезависимой, нанокристаллов, способ, германия, формирования
Текст:
...объясняется следующим образом. Ограничивающим фактором при производстве приборов с плавающим затвором из массива нанокристаллов является управление плотностью, размерами, площадью покрытия и однородностью нанокристаллов в пределах структуры плавающего затвора. Для оп 3 17081 1 2013.04.30 тимальной работы прибора желательно иметь плотность нанокристаллов 51010-1012 см-2,при этом средний размер нанокристаллов должен составлять 5-20 нм...
Способ изготовления КМОП-структур
Номер патента: 235
Опубликовано: 30.12.1994
Авторы: Саньков И. В., Сидоренко Е. Б., Плащинский Г. И., Нагорный А. А.
МПК: H01L 21/336
Метки: способ, кмоп-структур, изготовления
Текст:
...ворах с последующей промывкой в деион 12 3 атвдра 7 ннзованной воде и сушкой подложкиП Р И Н В Р 1 После форМнроВа центрифугированием,.формровали поддня 5 накасдВмещенд прдйздодидир т затворный диэлектрик методом термихимнчесКУю обработку подложки после 20 екг Окисденин подложки ПРИ 1 О 00 бС довательно в перекисно-серпом и пе В течение 15 Мин В атмосфере ВдаЖ рекнснотамачном растворах с после- нгкНСлрда ТлщиНй 0512 МКМ- ПРИ дующей промышкой...