Патенты с меткой «энергонезависимой»
Способ формирования нанокристаллов германия Ge для энергонезависимой памяти
Номер патента: 17081
Опубликовано: 30.04.2013
Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Новиков Андрей Геннадьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович, Гайдук Петр Иванович
МПК: H01L 21/336, H01L 21/44
Метки: германия, памяти, нанокристаллов, энергонезависимой, способ, формирования
Текст:
...объясняется следующим образом. Ограничивающим фактором при производстве приборов с плавающим затвором из массива нанокристаллов является управление плотностью, размерами, площадью покрытия и однородностью нанокристаллов в пределах структуры плавающего затвора. Для оп 3 17081 1 2013.04.30 тимальной работы прибора желательно иметь плотность нанокристаллов 51010-1012 см-2,при этом средний размер нанокристаллов должен составлять 5-20 нм...