Нагорный А. А.
Способ изготовления КМОП-структур
Номер патента: 235
Опубликовано: 30.12.1994
Авторы: Нагорный А. А., Саньков И. В., Плащинский Г. И., Сидоренко Е. Б.
МПК: H01L 21/336
Метки: способ, кмоп-структур, изготовления
Текст:
...ворах с последующей промывкой в деион 12 3 атвдра 7 ннзованной воде и сушкой подложкиП Р И Н В Р 1 После форМнроВа центрифугированием,.формровали поддня 5 накасдВмещенд прдйздодидир т затворный диэлектрик методом термихимнчесКУю обработку подложки после 20 екг Окисденин подложки ПРИ 1 О 00 бС довательно в перекисно-серпом и пе В течение 15 Мин В атмосфере ВдаЖ рекнснотамачном растворах с после- нгкНСлрда ТлщиНй 0512 МКМ- ПРИ дующей промышкой...