Тюлин Олег Владимирович

Номер патента: 2358

Опубликовано: 30.09.1998

Авторы: Баранов Игорь Ливерьевич, Тюлин Олег Владимирович

МПК: H01L 21/306

Метки: устройство, кремниевых, пластин, обработки, электрохимической

Текст:

...прижимаются уплотнительными кольцами 6, 6 с помощью их резьбового соединения с держателями 3, 3. Это обеспечивает надежный электрический контакт электродовкремниевых пластин 5,5 с токопроводами 4,4 и изоляцию последних от электролита 2. В электролит 2 между электродами-кремниевыми пластинами 5, 5 помещен держатель 7, изолирующий от электролита 2 и помещенных в него обрабатываемых кремниевых пластин 9, цилиндрический электрод 8. К кремниевым...